处理除尘设计
    由于部分废气含有少量甚至大量粉尘颗粒，而臭氧的无选择性反应在带有粉尘的废气中的投加量过大（因为臭氧会同时和颗粒物反应），所以在臭氧废气臭气处理中，首要步骤是除尘。旋风除尘器适用于净化大于5~10微米的非粘性、非纤维的干燥粉尘；袋式除尘器很久以前就已广泛应用于各个工业部门中，用以捕集非粘结非纤维性的工业粉尘和挥发物，捕获粉尘微粒可达0.1微米；电除尘器能够铺集0.01微米以上的细粒粉尘，等等。集气反应室的设计
    臭氧进气端设计
    臭氧离子废气处理设备为了使反应充分彻底，臭氧进气与废气进气处于相邻位置，理想状态是臭氧与废气相互对冲，彻底反应。但是考虑到臭氧发生器出气管道负压的产生，臭氧进气端方向应与废气方向相同。活性炭设计
    当臭氧完全和废气发生反应，产生无二次污染物质，理想状态是无臭氧残留，但是由于臭氧添加量把握精确度不高，所以往往会在理论值的基础上增大添加量，有可能在废气完全被处理后，还有臭氧残留。所以在处理后的气体出口在接入活性炭BAC，不仅能够吸附残留的臭氧，还可以进一步净化废气，减小臭氧添加量。
    快速性NOx是1971年通过实验发现的。在碳氢化合物燃料浓度大的反应区附近会快速生成NOx。由于燃料挥发物中碳氢化合物高温分解生成的CH自由基可以和空气中氮气反应生成HCN和N，再进一步与氧气作用以极快的速度生成NOx，其形成时间只需要60ms，所生成的量与炉膛压力0.5次方成正比,与温度的关系不大。这种反应主要发生在内燃机的燃烧过程中；对燃煤锅炉，其生成量很小。
    在催化剂（如V2O5/TiO2和V2O5-WO3/TiO2）作用下，还原剂NH3在290-400℃下将NO和NO2还原成N2，而几乎不发生NH3的氧化反应，从而提高了N2的选择性，减少了NH3的消耗。