低温等离子体技术在气态污染物治理方面优势显著。其基本原理是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。1980年代，日本东京大学S．Masuda教授提出的高压脉冲电晕放电法是常温常压下得到低温等离子体的最简单、最有效的方法。它已成为目前的研究前沿，也正越来越多的用于气态污染物的治理。
    低温等离子体去除污染物的机理：
    等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
    (1)电场＋电子→高能电子
    (2)高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
    (3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热
    (4)活性基团＋活性基团→生成物+热
    从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。