百级半导体无尘车间装修设计施工中改进措施

1.洁净车间局部百级区的上送上回气流组织形式不符合净化原理，应想办法使其气流组织满足上送下回（或下侧回）的净化原理。如果工艺条件允许，最简单的补救措施是在层流罩两侧加软质垂帘（如PVC材质的条形帘），垂帘低端能低于工作面高度，这样就把上送上回的气流组织形式转化成上送下回。

2.当层流罩距工作面的距离较大时，如果工艺条件允许，可用符合洁净厂房要求的透明材料把局部百级工艺线从净化车间中隔离出来，隔离材料可采用塑钢框架、5mm厚浮法玻璃结构，也可采用优质铝合金或不锈钢框架、5mm厚浮法玻璃结构，这样局部百级区的气流组织形式就转化为上送下侧回的形式。

3.加大回风口的回风量，在层流罩与高效送风口之间悬吊软隔断，在局部百级区的静压大于其周边区的静压，阻止乱流气流对局部百级区的干扰，必要时在软隔断的右侧增设回风口。使回风口的回复量为层流罩送风量的一半，另一半风量压入软隔断右侧区域，即靠软隔断与动压共同控制周边区对百级区的污染。