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为了提高厚膜电路的精度，必须进行阻值调整。由于厚膜丝网印刷操作固有的不准确性，基板表面的不均匀及烧结条件的不重复性，厚膜电阻常出现正负误差，如果阻值超过标称值将无法修正，但是，一般情况下印刷烧成后阻值低于目标值的大约30％，所以要通过激光调整达到目标值。
激光修调是把一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到工件上，使工件待调部分的膜层气化切除以达到规定参数或阻值。调阻时局部温升使玻璃熔化，气化部分阻值槽边缘受到玻璃覆盖，可填平基体表面被切割的介质。
先进的激光修调系统应用了大量的LSI、VLSI电路，以大部分的软件操作代替许多硬件功能。核心部分是通过硬件直接与激光器、光束定位、分步重复及测量等系统相连接。测量系统由采用精密电桥和矩阵组合的无源网络组成。
LT7130激光调阻机
设备特点
适用厚膜电路调阻，电子模块功能修调
高精度，高速度，高可靠性
订制的技术激光器，切口质量高
直线电机XY平台分步重复
消色差成像技术，图像识别功能
矩阵测量系统，配备IEEE-488(GPIB)接口
强大软件编程功能，满足各种不同应用
主要技术参数
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激光系统 |
型号规格 |
LT7130/G/U |
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激光波长 |
1064nm/532nm/355nm |
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激光功率 |
8W/5W/3W |
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典型光斑尺寸 |
35±5μm/18μm/10μm |
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对焦方式 |
自动，计算机程序控制 |
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冷却方式 |
水冷 |
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激光束定位系统 |
激光束运动范围 |
60mm X 60mm |
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运动分辨率 |
0.76μm |
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重复定位精度 |
±2.5μm |
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分步重复运动系统 |
运动方式 |
平面电机或直线电机 |
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运动范围 |
290mm*260mm |
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重复定位精度 |
±1μm |
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运动速度（空载） |
900mm/s |
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测量系统 |
电阻测量方式 |
四线制测量或二线制测量 |
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电阻测量精度 |
中阻 ± 0.02% |
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电阻测量范围 |
0.1Ω-100MΩ |
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测量速度 |
25μs/次 |
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零点及满程误差校正 |
自动校正 |
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探针定义 |
可编程任意设定 |
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探针板运动 |
自动、计算机程序控制 |
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探针板规格 |
标准P48 |
