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先进的激光修调系统具有多种修调功能，可以修调混合集成电路、厚薄膜电阻器网络、电容网络、瓷基薄膜集成元件，还可以修调D/A和A/D转换器的精度，V/F转换器的频率，有源滤波器的零点频率及运算放大器的失调电压等。同时还具有IEEE488接口，可与其他测试设备进行数据传输。
LT5110激光调阻机
设备特点
高性价比机型，适用厚膜电路调阻，电子模块功能修调
半导体端面泵浦光纤藕合固体激光器
步进或伺服电机、丝杠XY平台分步重复
消色差成像技术
强大软件编程功能，满足各种不同应用
大理石台面，机台稳定性好
主要技术参数
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激光系统 |
型号规格 |
LT5110 |
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激光波长 |
1064nm |
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激光功率 |
6W |
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典型光斑尺寸 |
35±5μm |
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对焦方式 |
自动，计算机程序控制 |
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冷却方式 |
风冷 |
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激光束定位系统 |
激光束运动范围 |
60mm X 60mm |
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运动分辨率 |
0.76μm |
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重复定位精度 |
±5μm |
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分步重复运动系统 |
运动方式 |
步进或伺服电机、丝杠XY平台分步重复 |
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运动范围 |
290mm*290mm |
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重复定位精度 |
±5μm |
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运动速度（空载） |
120mm/s |
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测量系统 |
电阻测量方式 |
四线制测量或二线制测量 |
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电阻测量精度 |
中阻 ± 0.02% |
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电阻测量范围 |
0.1Ω-100MΩ |
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测量速度 |
25μs/次 |
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零点及满程误差校正 |
自动校正 |
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探针定义 |
可编程任意设定 |
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探针板运动 |
自动，计算机程序控制 |
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探针板规格 |
标准P48 |
