六甲基二硅氮烷 工业级 国标 减尾剂 中间体  光致刻蚀剂
六甲基二硅氮烷 工业级 国标 减尾剂 中间体 光致刻蚀剂
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    商品详情
      六甲基二硅氮烷 999-97-3 减尾剂 中间体
      中文别名:六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
      分子式 C6H19NSi2
      分子量 161.39
      CAS号 999-97-3
      EINECS号 213-668-5
      密度: 0.765
      熔点: -78℃
      沸点: 125℃
      闪点: 20℃
      性 状 无色透明液体、无毒、略带胺味
      用途:中间体,是羟基及氨基保护剂;特种有机合成。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
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