设备由是在一个腐蚀的环境，我们设备的排风方式，台面下抽风，每套工艺清洗槽都有自动开闭的槽盖，槽盖下有单独的抽风装置。

设备结构外型，整机主要由机架、工艺槽体、机械手传输系统、排风系统、电控系统、水路系统及气路系统等组成。

由于工艺槽内药液腐蚀性强，设备需要做防腐处埋：

1. 设备机架采用钢结构骨架包塑；
2. 壳体采用镜面SUS316L不锈钢焊接，制程区由耐腐蚀的SUS316L板材组台焊接而成；
3. 电气区设置在设备后上部，与湿区和管路区完全隔离；
4. 槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料；
5. 机械手探入湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处埋。