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HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列为百万周期真空闸阀, 专为高真空应用而设计, 特别适合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤温度不超过 150°C的应用.
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列内部没有机械锁, 非常适合对于要求无振动运行的半导体和敏感工艺. 所有活动关节的轴都经过硬化处理, 减少了颗粒物的产生并提供了更平稳的驱动.
清洁和高密封性保证 HVA 真空阀门与低温泵、涡轮分子泵, 离子泵等完美联用.
上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商.
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品特点:
1. 直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器.
2. 独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小.
3. HVA真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业.
4. 所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易.
5. HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域.
6. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的最大完整性.
7. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来.
8. 阀门驱动手动、气动可选.
9. 标准或定制法兰满足不同应用.
10. HVA 标准周期真空阀门 21200 系列可任意位置安装.
11. 电磁阀控制并带有手动超控.
阀门材质：
阀门主体
304不锈钢
焊接波纹管轴封
AM-350
驱动轴和驱动销
硬质不绣钢
密封件
氟橡胶
真空：
压力范围
1x10-9 mbar
漏率
< 2x10-9 mbar l/S
差压关闭
1 bar (任意位置)
开启前最大压力
≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）：
佛橡胶密封
150 °c
驱动方式
手动 60 °c; 气动 60 °c
使用寿命：1,000,000启闭次数
公称通径：DN16-320 mm
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列 技术参数：
DN
Model
mm
inch
Number
16
0.625
21212-006_
40
1.5
21212-015_R
50
2
21212-020_R
63
2.5
21212-025_R
80
3
21212-030_R
100
4
21212-040_R
160
6
21212-060_R
200
8
21212-080_R
250
10
21212-100_R
320
12
21212-120_R
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品部件图
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品订货号
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品选件
1. 定制法兰
2. 带铜帽的特高压版本
3. 备用O形圈材料
4. 备用螺线管电压
5. 位置指示器的微动开关
6. 粗加工
7. 电机操作员
8. 高温组件，包括O形圈，微动开关和执行器。
9. 较大的尺寸
