商铺名称：江苏英思特半导体科技有限公司
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商品详情
?名称：刻蚀清洗机?工作环境：室内放置；
?骨架：不锈钢骨架，外包?3mmPP?板防腐焊接而成；?l??外壳：德国进口?10mm?瓷白?PP?板热焊接而成；?l??防护门：正面操作侧采用透明上下推拉门；?l??管路：管路位于机台下后部，以节省空间，采用英制接口；?l??药液回收区位于设备左后下部；?l??设备?2#?与?3#?处有活动推拉挡板；?l??排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置；?l??工作照明：机台上方配照明（与工作区隔离）；?l??DI/N2 GUN?：可伸缩的?N2 Gun?和?DI?水枪各把，置于右侧；?l??台面板为德国?10mm PP?板（带有漏液孔）；?l??人机界面：?Touch Screen?彩**面；?l??支脚：有滑轮装置和固定装置，可调整高度和锁定；
PLC?可程式控制器（欧姆龙）＋?Touch Screen?彩色人机界面操作。?l??制程参数皆采用可设定、修改、记忆制程模式；?l??操作模式可分为自动?/?手动?/?编辑?/?维修。?l??配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块，以便于维护；?l??具?Password?功能以避免操作人员误改参数：?Password-1.?启动及可进入自动模式內容。?Password-2?可进入手动模式。?Password-3?可进入编辑模式修改制程参数。
设备采用耐腐蚀导线并通过?PE?管进行保护，防腐防水；?l??设有防漏电断路保护装置；?l??电控部分正压空体保护，防水防腐；?l??设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；?l??药液回收区配有独立抽风，和底部滑动滚轮，便于拿放回收桶；?l??EMO?装置紧急按钮开关；?l??蜂鸣器声鸣提示工作完成，三色灯及蜂鸣声光故障报警；?l??机台底部设有防漏盘及漏液感知；?l??液位异常感知?/?安全液位保护；?l??配有加熱保护；
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