用 途

• シリコンウェハ専用に設計された放射温度計です。

特 長

• シリコンウェハ専用の放射温度測定器
• 高速応答（最速10msec）が可能なので、温度変化の激しい試料や高速で移動する試料の温度測定に適しています。応答速度は10sまで設定できます。
• 小スポット測定を実現しているので、小さい試料（サンプル）でも測定できます。
• 6種類の固定焦点レンズ、3種類の可動焦点レンズを備えていますので、正確な温度測定が可能となります。
• 完全デジタル回路で高い精度と安定性自由な温度範囲をスケーリングします。
• 値保持回路を内蔵しているので、移動物体の測定にも適しています。
• 固定焦点レンズと可動焦点レンズを選択できます。
• 標準添付の専用計測ソフト（Windows用）でデータの記録とパラメータ設定ができます。
• 直視ファインダー内の焦点スポットで、測定対象の位置を正確に家訓できます。
  また、より正確な位置確認のためのレーザーパイロットライトもオプションで使用できるようになります。

仕 様

• インターフェースは、RS232またはバス接続ができるRS485を切り替え可能です。

基本システム構成図

5/12/140シリーズ

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アクセサリー

冷却ジャケット	冷却板	エアパージ管	ROT10 回転ミラースキャニング
ボール＆ソケット固定台 鋼製	ボール ソケット固定台	LED デジタル表示器	NG 0 DC24V電源装置