日本toray氧气表MS-500
日本toray氧气表MS-500
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    商品详情

      血氧仪与半导体,液晶和电子元件的相关应用半导体,电子元件的氧气分析仪

      氧气表MS-500

      MS-500

      • 最多可以同时测量8个点
      • 可以显示从ppm级到100%的各种浓度范围。
      • 非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
      • 传感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
      • 特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性。

      MS-500设备规格

      测量原理 氧化锆浓缩电池供电
      形状 分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式)
      显示方式 4位数字显示(浓度显示)
      测量范围 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20?10 -0大气压
      自动范围
      重复性 在±0.5%FS 0-1%范围内或更高
      ±1%FS以下或≤± 
      0.1ppm大于0-1ppm的0-1%范围内,atm范围超出了保证的浓度范围
      测量点数 1-8
      样气条件 压力 10 -3至200 KPa(绝对压力)
      流量 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量)
      湿度 露点低于环境温度
      温度 0-100℃
      其他 不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
      比较气 大气层
      记录仪输出 仅变速箱输出
      变速箱输出 RS-232C
      报警输出 没有
      热身时间 6分钟以内
      尺寸 MS-500(控制器) 92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
      MS-510(转换器) 100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
      传感器单元 SD16NW 全长100mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51)
      SD25NW 全长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48)
      SD40NW 全长100mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49)
      大量的 MS-500(控制器) 约0.6Kg
      MS-510(传感器) 约0.5kg
      传感器单元 SD16NW 约0.2Kg
      SD25NW 约0.2Kg
      SD40NW 约0.35Kg
      外部连接 真空法兰之一(NW16、25、40)
      使用电源 24VDC±10%

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