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商品详情
- SiC / GaN相关晶圆表面检测设备。
双头SiC表面粒子扫描仪- 新开发的SiC表面颗粒扫描仪可防止未发现的SiC潜在划痕。
采取措施，不漏掉传统表面颗粒检查设备无法检测到的SiC表面潜伏期。
通过将双传感器安装在可以检查透明基板的YPI-MX上，可以进行测量而不会发现微小的划痕缺陷。
通过在两个正交轴上布置355 nm（UV）激光器和光接收传感器，可以消除微小划痕缺陷的方向依赖性，
并在不忽略SiC衬底的情况下检测划痕缺陷和潜在划痕。
在5分钟内测量4英寸SiC晶片，包括等待时间检测测量。
设备中双传感器测量结果的图像
- 不仅可以测量SiC，还可以测量透明玻璃晶片，硅晶片和LT晶片。
最小检测粒径为0.1μm。
LT晶片测量结果示例
如果是4英寸LT晶片，则可以在大约2分钟内进行测量。
关于大功率激光控制
- 配备有YPI-MX-DC的大功率激光输出通过我们的控制系统（自动功率控制）控制
为恒定，从而可以实现更精确的异物检测。 - 新开发的SiC表面颗粒扫描仪可防止未发现的SiC潜在划痕。
- 扫描方式激光侧散射法，双头传感器
- 工作安装手动/自动输送机
- 能量消耗AC100V / 200V 30A
- 最小检测粒径0.1微米
- 重现性σ/ X≦10％
- 测量时间2分钟内放入4英寸晶圆
- 待检查的基材SiC /各种透明玻璃基板/ Si晶片，LT晶片，具有
各种膜的晶片等- 设备外形尺寸W900mm x D1,000mm x H1,757mm（手动）
W1,530mm x D1,200mm x H1,715mm（自动传送带）- 体重约500公斤（手动）/约1000公斤（自动传送带）
- 工作安装手动/自动输送机
日本ygkcop双头SiC表面粒子扫描仪
YPI-MX-ΘDC SiC / GaN相关，Si /透明/ LT晶片表面异物检查设备
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