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商品详情
- 紧凑而高性能的晶圆表面检测设备。表面粒子扫描仪。
新开发的高性能，节省空间的类型。
安装面积为YPI-200的50％。
它是一种紧凑的表面检查
设备，可以根据使用模式进行移动，精度高达0.15μm，同时又节省了空间。
作为可选功能，可以为透明基板安装前/后分离功能（通过消除后表面的影响来执行前表面的测量）。
测量结果可以通过检测图大小，历史和异物图像显示并记录在附带的P / C上，并带有颗粒数量。设备规格
- 工作尺寸200 x 200 mm，φ200mm（可提供φ300mm测量* 1）
- 最小检测到的颗粒尺寸（Si PSL裸颗粒）Si晶圆0.152μm
透明玻璃基板0.3μm（需要可选设备）- 激光/检测单元使用405 nm（蓝色激光）和光电倍增管（PMT）
- 扫描方式XY，螺旋扫描
- 工作提供方法手动的
- 设备尺寸（宽x深x高）W548 x D572 x H962（mm）通过P / C
- 设备重量90kg（不含P / C）
- 电源AC100V 15A
* 1当支持φ300mm时，深度尺寸会改变。
到顶部 - 工作尺寸200 x 200 mm，φ200mm（可提供φ300mm测量* 1）
日本ygkcop表面粒子扫描仪[YPI-MN]
YPI-MX-ΘDC
YPI-MN紧凑型高性能晶圆表面检测设备
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