ADL GG12/2000电源用于长光束源的直流电源

ADL离子源电源

对于离子源（Kaufmann 和 ECR）的作，可以使用特殊电源。根据要求，这些装置还可以配备其他输出电压或输出功率。所有电源均具有 AS 4 接口、Profibus、EtherCat 或 RS232/484 接口。

突出

在离子束和等离子体工艺技术中的广泛应用

蚀刻、溅射等等

创新创新应用，例如微电子、光学和传感器

ADL GG12/2000离子源电源用于长光束源的直流电源。

GG 03/1000，GG 08/1000-加速器

GG 12 / 2000, GG 12.1 / 2000 光束

GG 03加速器

输出功率300W

输出电压最大1000 V

输出电流300mA

功率消耗500 VA

指示电流和电压的31/2位数字显示

ADL控制

电流或电压控制

操作模式

通过前面板或外部控制接口手动

设定值

0...100%的额定值电流和电压

输出精度

电流或电压的标称值的+/-1%

ADL GG 03.1加速器    应用于离子束和等离子体工艺技术中

输出功率30W

输出电压最大1000 V

输出电流300\mA

功率消耗100 VA

ADL指示

电流和电压的31/2位数字显示

控制

电流或电压控制

操作模式

通过前面板或外部控制接口手动

设定值

0...100%的额定值电流和电压

输出精度

电流或电压的标称值的+/-1%

ADL GG12光束电源控制插座X3-接口AS4

输出功率1200W

输出电压最大2000 V

输出电流1mA

功率消耗1500 VA

ADL指示

电流和电压的31/2位数字显示

控制

电流或电压控制

操作模式

通过前面板或外部控制接口手动

设定值

0...100%的额定值电流和电压

输出精度

电流或电压的标称值的+/-1%