商铺名称:志昇自动化设备(深圳)有限公司
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志昇半导体推出的双门双控氮气烤箱,专为高端集成电路封装与晶圆工艺设计,融合工业级洁净环境控制与精准热管理技术,满足半导体制造中对氧化防护、温控一致性与生产连续性的严苛需求。
?双门隔离系统?采用气密式对开门结构,配合耐高温硅橡胶密封条与正压气帘设计,实现工艺腔体与外部环境的物理隔离。操作时仅开启单侧门体即可完成晶圆取放,有效阻隔尘埃颗粒侵入(符合Class 1000洁净标准),同时减少腔内氮气消耗达40%,保障连续生产中环境稳定性。
?独立双控温区?配备两套完全分离的加热回路与温度传感网络,支持上下腔体差异化工艺运行。例如,上腔可设定150°C进行环氧树脂固化,下腔同步执行200°C高温退火,温控精度达±0.3°C
