上海秋腾贸易有限公司销售德国Micro Epsilon传感器、Micro Epsilon位移传感器、

Micro Epsilon测距传感器、Micro Epsilon电涡流传感器、Micro Epsilon电容传感器、

Micro Epsilon激光传感器、Micro Epsilon电感传感器、Micro Epsilon磁感应传感器、

Micro Epsilon拉绳传感器、Micro Epsilon转速传感器等全系列产品。

Micro Epsilon致力于提升产品精度，从而推动创新。Micro Epsilon位移传感器分辨率

可达亚纳米级，即小于百万分之一毫米。例如，这些传感器被应用于半导体光刻机的真

空环境中。

为了在量产产品中实现如此高性能，我们依托集团内部的协作网络。咨询、产品开发、

应用、电子、光学、图像处理、微机电一体化、模拟、软件、系统集成、生产与质量—

—所有环节均由单一来源提供。


Micro Epsilon位移传感器基于涡流原理，专为非接触式测量位移、距离、位置、振荡及

振动而设计。它们特别适用于要求高精度的恶劣工业环境（压力、污垢、温度）。Micro 

Epsilon位移传感器可在要求亚微米精度的场合提供极其准的测量。

Micro Epsilon电容传感器设计用于位移、距离和位置的非接触式测量，以及厚度测量。

电容位移传感器信号稳定，分辨率高，因此广泛应用于实验室和工业测量领域。例如，

在生产控制中，电容传感器可测量薄膜厚度和粘合剂的应用。安装在机器中，它们可以

监测位移和工具位置。

Micro Epsilon激光传感器在工业激光位移测量领域树立了里程碑。无论是进行位移、距

离还是厚度测量，德国Micro Epsilon激光传感器都被公认为同类产品中的佼佼者。这些

传感器广泛应用于工厂自动化、电子生产、机器人技术以及车辆制造等领域的测量和监

控任务中。

Micro Epsilon光谱共焦传感器产品系列代表了光谱共焦测量技术中的高精度和动态性能

。这些传感器能够针对透明物体的距离和厚度进行高精度、快速测量。此外，创新的控

制器和传感器技术确保了在所有表面上均具备高信号稳定性。高性能传感器产品组合能

够满足广泛的测量任务需求，例如在平板玻璃生产、测量设备以及半导体设备制造等领

域。

Micro Epsilon创新型白光干涉仪在高精度距离和厚度测量领域树立了标杆。这些干涉仪

能够以亚纳米级分辨率实现稳定的测量结果，同时提供相对较大的测量范围和偏移距离

。这些干涉仪适用于透明物体和晶圆的距离与厚度测量。

Micro Epsilon现代化高性能红外测温仪可在无接触的情况下高精度测量-50°C 至+1100

°C 的表面温度。专为金属设计的型号甚至能检测高达+1,600°C 的温度范围。这些紧

凑且坚固的传感器几乎应用于所有行业，如工厂自动化、研发、维护、过程监控和机械

制造等领域。

Micro Epsilon系列的红外测温仪主要优势不仅在于其能够用于关键和难以接近的位置，

还包括高速测量、适合在线监测以及强大的工艺适应性。除此以外，Micro Epsilon红外

测温仪还具备好的温度稳定性和信号质量，可实现可靠的测量。

Micro Epsilon光电光纤传感器具有可变开关量输出，适用于自动化领域。CLS1000 用于

可靠的位置监测以及位置和存在检测。光纤传感器由 CFS 传感器和 CLS1000 控制器组

成。光纤传感器的宽检测和操作范围高达 2000 毫米，是远距离元件检测的理想之选。

由于CFS传感器设计小巧，CLS1000 光电光纤传感器系列尤其适用于狭窄的安装空间。

Micro Epsilon接口和信号处理单元扩展了Micro Epsilon传感器的应用领域。接口模块

用于将传感器信号转换为数字或总线兼容接口。这可以为众多传感器提供 USB、RS422、

Ethernet/IP、Profinet 和 EtherCAT 等接口。信号处理单元还可用于采集多个传感器

信号，并对其进行计算和输出，例如在平面度测量或厚度测量中不可缺少。