高纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级紫外杀菌处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。超纯水的电阻率可达18MΩ*cm。

原理

EDI (连续电解除盐技术) ：是一种将离子交换技术、离子交换膜技术和离子电迁移技术相结合的纯水制造技术。EDI设施的除盐率可以高达99%以上，如果在EDI之前使用反渗透设备对水进行初步除盐，再经EDI除盐就可以生产出电阻率高达15MΩ. CM以上的超纯水。

FEDI：独立的分段设计，进水要求低，产水电导率40us/cm以下的单级反渗透既可以满足供水要求。使用不同的电压驱动，对强弱离子分离去除，为去离子创造良好条件，产水导电率可达0. 1us/cm以下。浓水可回收至反渗透系统，综合回收率高达90%-95%。

抛光混床：一般情况用在工艺末端，用来进一步提高产水水质。采用高交换容量、充分再生、无化学析出的核子级树脂，去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ. CM以上。