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S5U-PH激光干涉仪
S5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制,可以满足条纹非常密集、超大像差(PV值非常大)状况下的准确测量。
一、仪器规格参数
S5U-PH激光干涉仪为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制,可以满足条纹非常密集、超大像差(PV值非常大)状况下的准确测量。 仪器规格参数表 硬件部分:| 产品型号 | S5U-PH |
| 产品名称 | 5mm正立式激光干涉仪 |
| 测试口径 | Φ5mm |
| 辅助对准口径 | Φ30mm |
| 标准镜面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 进口半导体激光器(635nm) |
| 光路切换 | 辅助观察(Φ30mm大视场)与测试(Φ5mm小视场)模式电控切换 |
| 电源 | AC220V50HZ |
| 软件名称 | 移相算法(简称PH) |
| 分析项目 | 透过波前PV值、平行度Tilt值等 |
| 测试重复性 | PV:0.01λ RMS:0.003λ |
| 测试允许误差 | PV<1λ时 PV:0.05λ Tilt:0.25fr(零场调整为1根条纹) 1λ<PV<2λ时 PV:0.1λ Tilt:0.5fr(零场调整为1根条纹) |
| 测试时间 | 1.5秒 |