UXG/LG方型真空门阀，北泽阀门、开滋阀门，KITZ SCT?

UXG / LG方型真空门阀

“UXG，LG”系列是为隔开半导体真空装置的反应炉与传递室而开发的方型门阀。阀体为铝制，使用复动式空气执行机构驱动。带加热器规格阀门的特 点是可以从外部和内部双向进行加热，均热性能高，除了使用固定阀体内置 的外部加热器进行加热外，可以活动的阀体内部也设有加热器。阀身和阀体可以设定为 180℃以下的任意温度。

主要特点：

1.可以高温加热，减少积脏和密封圈黏着，大幅延长维修周期。

2.阀身加热器和阀体加热器的通道彼此独立，可以分别设定内部和外部温度。

3.具有在开闭阀门时不易产生颗粒的无摩擦结构。

4.备有在发生驱动用空气断开等紧急情况时保持阀门关闭的闩锁机构。

5.根据流体温度以及对流体的适用性，闸门的 O 型圈材质备有氟橡胶、KALREZ? *1、Chemraz? *2 等。

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