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高纯氧是以氧气(O?)为主成分的无色无臭无味气体,纯度≥99.995%,杂质含量极低。其液态密度达1141kg/m3(-182.96℃),沸点-182.96℃,熔点-218.78℃,物理性质稳定但不可燃且具有强助燃性,能与多数元素发生氧化反应。
环状结构与链状结构图元素都能与氧气反应,这些反应称为氧化反应,而经过反应产生的化合物(有两种元素组成,且一种元素为氧元素)称为氧化物。一般而言,非金属氧化物的水溶液呈酸性,而碱金属或碱土金属氧化物则为碱性。此外,几乎所有的有机化合物,可在氧中剧烈燃烧生成二氧化碳与水。化学上曾将物质与氧气发生的化学反应定义为氧化反应,氧化还原反应指发生电子转移或偏移的反应。
高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积;作为氧化源与产生高纯水的反应剂;干法氧化;与四氟化碳混合,用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质;在冶金工业中有广泛应用。还可用于水质处理。所有的氧化反应和燃烧过程都需要氧,例如炼钢时除硫、磷等杂质,氧和乙炔混合气燃烧时温度高达3500℃,用于钢铁的焊接和切割。玻璃制造、水泥生产、矿物焙烧、烃类加工都需要氧。液氧还用作火箭燃料,它比其他燃料更便宜。