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邮编：200233
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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 品名 | 晶圆搬运用机器人 | ||
| 别名 | 水平多关节型洁净机械手臂 | ||
| 产地 | 中国 | ||
| 轴数 | 4轴 | ||
| 使用环境 | 洁净间内的大气环境 | ||
| 手臂 | 单臂 | ||
| 到达距离 | 553mm | ||
| 升降轴最大行程 | 300mm | ||
| 可搬运质量 | 小于4kg | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 英文名 | wafer transfer robot | ||
| 固定方式 | 底座固定方式，或法兰固定方式 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 类型 | 超洁净间用多轴型 | ||
| 型号 | GCR4280-300-AM | ||
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晶圆搬运用机器人GCR4280-300-AM
4轴水平多关节型洁净机械手臂特点：
超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列
适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运
机械手臂可以单独对应3个FOUP
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
手指材质：CFRP（碳纤维), 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
产品型号列表
产品型号 升降轴最大行程
GCR4280-300-AM 300mm
4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4280基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 单臂
到达距离 553mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 300mm
可搬运质量 小于4kg (手臂第3关节处基准)
