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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品名 | 晶圆机械手臂 | ||
| 轴数 | 3轴 | ||
| 英文名 | wafer transfer robot | ||
| 产地 | 中国 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 机械手臂标准臂长: | 100mm, 130mm, 160mm, 200mm | ||
| 使用环境 | 真空环境 | ||
| 手臂 | 单臂 | ||
| 到达距离 | 520mm | ||
| 可搬运质量 | 3kg | ||
| 控制通讯方式 | RS232C及并口I\/O方式 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 类型 | 圆柱坐标型 | ||
| 型号 | SVCR3260-020-PM | ||
