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商品详情
JY09-110SPD表面激光尘埃粒子计数器
性能：
符合T/CAMDI 009.1-2020，ISO 21501-4-9，T/CAMDI 009.1-2020，IEST- STD-CC1246D和21 CFR-Part11标准；
对曝光机，显影机，蚀刻、黄光偏光板贴附机台效果显著；
可快速测量设备表面 ，实时显示颗粒数值，确认机台、零件表面洁净度
能降低清洗维护成本 ，提高设备维护效率；
可确认产品制程前后的粒子分布情况 ，以确定污染源；
配备多种异形探测头 ，满足客户多样化需求；
自净时间短 ，预防保护维护（PM）周期少，效率高；
